Contact Us

Contact us

2018-10-30 0:42:00

无油空压机租赁在集成电路行业的应用案例分析

无油空压机租赁在集成电路行业的应用案例分析
 

应用现场:中国上海某集成电路工厂

服务商:济南孚恩设备安装工程有限公司

行业特点:作为无油压缩空气的用气大户电子集成电路行业,无油压缩空气使用标准也是最高的:露点-70℃@8.5bar,无油(含油量<0.01mg/m³),≥0.1μm颗粒需<100pcs/m³。另外,稳定不间断供气对于设备的稳定性、对于运营团队的技术&经验要求也是极高。

案例详情:浦东新区某集成电路工厂在建成初期,配套的大宗气体工厂建设受用地手续影响,无法按时建设和供应大宗气体(主要包括CDA和N2)。此时,气体供应商找到我们,希望能够我们能够配合出具合理方案供选择。此项目由于从开始的调试气源到后期的生产供气,需求的气量呈阶梯状逐步上升,需要设备从小到大逐步增加,气量从开始1000Nm³/h 至最终15000Nm³/h ,气体品质需要达到集成电路通用标准,运行期间稳定不间断供应,需室外露天直接使用,且噪音≤60dB。接到客户需求,我们与客户经过无数次反复沟通确认,最终制定了符合要求的整体方案,获得了客户的认可。从第一台设备2018年3月份进场,至2019年11月份大部分设备撤场,最高峰时12套压缩机设备(10套空气压缩机+2套氮气压缩机)在现场连续无故障运行整16个月,经历了2个炎热的夏季和1个冬季。客户的高度认可,给了此项目中我们所有的努力和付出一个最好的奖励。

具体方案:

1)生产用CDA供气:9台集装箱式ZT250/275风冷电动式无油双螺杆空压机 + 1套柴油驱动移动式风冷无油双螺杆空压机 + 10套高温型冷干机&微热吸附式干燥机 ≈16000Nm³/h CDA ( 无油,露点 -73℃@8.5bar )

2)生产用中压氮气:1套集装箱式ZT275-N2无油氮气压缩机+1套集装箱式ZT132-N2无油氮气压缩机≈ 3200Nm³ N2(@8bar)

方案特点:

1)四季全年室外露天直接使用,稳定可靠,静音效果佳;

2)电动机连续运行供应气体,多机单独运行,柴油直驱无油机作为备机,不受水电供应影响,任何单台设备故障/检维修均不影响生产,一旦压力下降到设定值,可实现快速启动,确保压力平稳;

3)氮压机将气化后的低压(4bar)氮气充分利用,使用氮压机增压至8bar满足生产需要。

 

告诉我们您需要什么

我们会协助您解决